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? ? SCARA 機(jī)器人出貨量國產(chǎn)第一


? ? 2020- 2023 年

? ? SCARA 機(jī)器人出貨量全球第四



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TA系列 晶圓機(jī)器人

國產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進(jìn)口品牌

臂長：200/260/400mm? 負(fù)載：6/8/12寸wafer

支持mapping功能? 支持晶圓有無檢測


TBA系列 晶圓機(jī)器人

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臂長：200/260/370/400mm? 負(fù)載：6/8/12寸wafer

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JC系列 晶圓校準(zhǔn)器

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兼容8/12寸晶圓校準(zhǔn)? 圓心校準(zhǔn)精度：±0.1mm? 缺口校準(zhǔn)精度：±0.1°


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